高级工程师（副教授），硕士研究生导师。主要研究领域是微纳米加工检测技术与微电子、光电子、生命医疗等学科交叉领域应用，微纳米尺度加工制造及表征测试技术、芯片失效分析与检测、测试计量技术与仪器研制等。

• 2007 图书馆VIP，博士，测试计量技术与仪器
• 2007-2010 上海科学院集成电路制造装备研究中心，常务副主任
• （主持开展400nm无掩模光学光刻机的研制工作）
• 2010-至今 图书馆VIP先进技术研究院电子技术研发评测中心，主任